業界
半導体製造装置
業界概要
半導体製造装置は、集積回路や半導体素子をつくるために使われる装置の総称で、マスク・レチクルを製造する装置、ウェーハ上に電子回路を形成する装置、チップを組み立てる装置などが含まれる（日本標準産業分類の「半導体製造装置製造業」の説明による）。半導体の製造工程は一般に、ウェーハ上に回路を作り込み、チップごとに通電して良否を調べるまでの「前工程」と、ウェーハをチップに切り分け（ダイシング）、チップを固定・接続・封止して試験・検査する「後工程」に分けられる（内閣府の解説）。なお産業分類上は、設計用の装置、電気計測器としての検査・評価装置、純水製造装置、クリーンルーム装置などは半導体製造装置製造業とは別の分類に入る。
装置に使われる部品は形状が多様で、高い精度と面品位が求められる。アルミの削り出しや、加工の難しい脆性材料が使われることも多い（工作機械メーカーの説明）。
主な製品・工程
- マスク・ウェーハの製造：ガラス板への回路パターンの焼き付け（フォトマスク作成）、単結晶インゴットの薄切り、ウェーハ表面の鏡面研磨
- 前工程：洗浄と酸化膜の形成、薄膜の形成、フォトレジスト塗布、露光・現像、エッチング、レジストの除去、不純物イオンの注入と熱処理、表面の平坦化研磨、電極配線用の金属膜の形成、チップごとの通電検査
- 後工程：ダイシング（ダイヤモンドブレードによる切断）、リードフレームへのチップ固定と金属ワイヤによる接続（ボンディング）、樹脂による封止（モールディング）、温度・電圧への耐久や電気的特性・外観構造の最終検査
- 装置の例（産業分類の事例）：ウェーハの加工（スライシング・研削・ラッピング）、熱処理（酸化・拡散）、露光、レジスト処理、マスク・レチクル製造、洗浄・乾燥、エッチング、イオン注入、薄膜形成（CVD・スパッタリング・エピタキシャル成長）、真空蒸着、ダイシング、チップボンディング、チップモールディングの各装置
- 装置部品の例：真空チャンバ、シャワープレート、冷却板、シールド、マニホールドブロック、ターボ分子ポンプ用ロータ
使用材料
- SUS304 出典SUS304は、約18%のクロムと約8%のニッケルを含むオーステナイト系のステンレス鋼（JIS鋼種）で、「18-8ステンレス」…
- アルミニウム（アルミ） 出典アルミニウムは比重が約2.7で、鉄（7.8）や銅（8.9）のおよそ3分の1という軽さを最大の特長とする非鉄金属。日本アル…
関連設備
- 5軸マシニングセンタ 出典5軸マシニングセンタは、X・Y・Zの直線3軸に回転・傾斜の2軸を加えたマシニングセンタ。工具やワークを傾けられるた…
関連企業
- オークマ株式会社 出典NC旋盤・複合加工機・マシニングセンタ・研削盤などのNC工作機械と、NC装置・FA製品・サーボモータを製造・販売する…
- 株式会社CHAMPION CORPORATION 出典東大阪市に本社を置く精密部品メーカー。射出成形金型・ダイカスト金型・プレス金型用の特注部品や、自動機・半導体…
- 株式会社ウラノ 出典埼玉県上里町に本社を置く部品加工メーカーで、切削加工を中核技術とする。航空・宇宙機器、発電機・プラント、半導…
- 株式会社東京精密 出典半導体製造装置（プロービングマシン、ダイシングマシン、グラインダ等）と精密測定機器（三次元座標測定機、表面粗…
- 株式会社由紀精密 出典神奈川県茅ヶ崎市の精密切削加工メーカー。航空宇宙、医療機器、電機・電子機器、半導体製造装置向けなどの部品を試…
- 株式会社第一金属製作所 出典さいたま市西区の精密板金加工会社。医療機器、通信機器、産業機器、OA機器向けの板金部品を、レーザー・パンチ加工…
最近の企業活動
- 新製品オークマ、大物部品向け大型立形マシニングセンタ「MB-100V」を開発オークマ株式会社
- 工場新設東京精密グループ、愛知県東郷町に半導体製造装置の「名古屋工場」を竣工株式会社東京精密
出典
- オークマ株式会社「半導体産業｜産業別ソリューション」工作機械メーカーの説明
- 総務省 日本標準産業分類（令和5年[2023年]7月改定）細分類2671「半導体製造装置製造業」（政府統計の総合窓口 e-Stat）本ページの記述は、本資料をもとに要約・加工して作成
- 内閣府 政策統括官（経済財政分析担当）「地域課題分析レポート（2024年夏号）〜半導体投資による地域経済への影響〜」第1章（1）半導体産業の状況と地域の立地状況本ページの記述は、本資料をもとに要約・加工して作成
関係の出典
- 使用材料：SUS304
- オークマ株式会社「チャンバ｜半導体産業」オークマの加工事例：半導体製造装置の真空チャンバ部品の材質がSUS304（工作機械メーカー1社の事例のみ）
- 使用材料：アルミニウム（アルミ）
- 日本アルミニウム協会「アルミニウムとは」（PDF）日本アルミニウム協会：厚板が半導体製造装置用チャンバーに使われ、高真空の半導体装置にも使われる。オークマの事例でも、多角形チャンバ（A5052）などの装置部品がアルミ材
- 関連設備：5軸マシニングセンタ
- オークマ株式会社「半導体産業｜産業別ソリューション」オークマの事例：半導体製造装置の部品（多角形チャンバ、シールド、ターボ分子ポンプ用ロータ）を5軸制御マシニングセンタで加工
- 関連企業：オークマ株式会社
- 同リリースPDFMB-100Vの発表で半導体製造装置の大物部品加工を主な対象市場に挙げている
- 関連企業：株式会社CHAMPION CORPORATION
- CHAMPION CORPORATION トップページ製品情報に半導体製造装置用特注部品
- 関連企業：株式会社ウラノ
- ウラノ URANOについて（会社概要）事業内容に半導体製造装置用部品
- 関連企業：株式会社東京精密
- 東京精密 会社概要半導体製造装置の製造販売が主要事業
- 関連企業：株式会社由紀精密
- 由紀精密 会社概要事業内容に半導体製造装置・各種試験装置部品の試作・量産
- 関連企業：株式会社第一金属製作所
- 第一金属製作所 精密板金加工事例（産業機器）加工事例に半導体製造装置用ボックス・オサエ
- 最近の企業活動：オークマ、大物部品向け大型立形マシニングセンタ「MB-100V」を開発
- 同リリースPDF対象市場として半導体製造装置を最初に挙げている
- 最近の企業活動：東京精密グループ、愛知県東郷町に半導体製造装置の「名古屋工場」を竣工
- 東京精密 お知らせ「半導体製造装置事業における生産能力強化を目的とした新工場『名古屋工場』を竣工」半導体製造装置（グラインダ）の生産能力強化が目的
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